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Ceramic CTE 测量 Cold & Hot plate
Ceramic Board 热膨胀系数 测量
对象 : Ceramic Board (Wafer type)
[产品详细信息]
品名
Ceramic CTE 测量 cold & hot plate
一般事项　
设置场所
室内用
起动电源
220VAC
周围温度
常温
消耗的电量
8KW
周围湿度
40% ~ 80%
温度控制
PID 控制
控制对象
硅胶晶圆片
大小与重量
参考以下事项
项目
Cold-Chuck Plate
Temp. Controller
形式
起动电源
DC 24V
起动电源
220VAC
消耗的电量
2.5KW
消耗的电量
5.5KW
重量
15kg
重量
100kg
大小
Φ420×35mm
大小
[W]600 x [D]650 x [H]1500 mm
冷却方式
T.E. Module
控制方法
PID 控制
冷却能力
600W
控制对象
Ceramic Board
加热方式
T.E. Module
控制范围
-10℃ ~ 100℃
加热能力
1800W
控制精度
±0.1℃
平整度
± 0.05mm (max)
Uniformity
±2.0℃