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12-inch Cold-Chuck
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在半导体晶圆片切割工序时发生不良
→ 在10℃以上冷却时，可降低粘度，提高收益率
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| [产品详细信息] |
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品名 |
12-inch Cold-Chuck |
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一般事项 |
设置场所 |
室内用 |
起动电源 |
220VAC |
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周围温度 |
常温(25℃) |
消耗的电量 |
580W |
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周围湿度 |
40% ~ 80% |
温度控制 |
PID 控制 |
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控制对象 |
硅胶晶圆片 |
大小与重量 |
参考以下事项 |
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项目 |
Cold-Chuck Plate |
Temp. Controller |
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形式 |
起动电源 |
DC 48V |
起动电源 |
220VAC |
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消耗的电量 |
480W |
消耗的电量 |
100W |
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重量 |
3910g |
重量 |
10kg |
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大小 |
Φ318×17.7mm |
大小 |
440×390×295(mm) |
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冷却方式 |
T.E. Module |
控制方法 |
PID 控制 |
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冷却能力 |
266W |
控制对象 |
硅胶晶圆片 |
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加热方式 |
T.E. Module |
控制范围 |
-20℃ ~ 85℃ |
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加热能力 |
480W |
控制精度 |
±0.1℃ |
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绝缘电阻 |
1×10-9Ω |
Uniformity |
±1.0℃ |
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品名 |
12-inch Cold-Chuck |
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用途 |
在半导体晶圆片切割工序时发生不良 |
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→ 在10℃以上冷却时，可降低粘度，提高收益率 |
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起动电源 |
DC 48V |
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消耗的电量 |
480W |
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大小 |
Φ318×30mm |
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散热结构 |
水冷式 |
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冷却能力 |
266W |
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控制范围 |
-20℃ ~ 85℃ |
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控制精度 |
±0.1℃ |
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Uniformity |
±1.0℃ |
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