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8-inch Cold-Chuck
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Cold-Chuck Plate & Temp. Controller
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| [产品详细信息] |
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品名 |
8-inch Cold-Chuck |
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一般事项 |
设置场所 |
室内用 |
起动电源 |
220VAC |
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周围温度 |
常温(25℃) |
消耗的电量 |
700W |
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周围湿度 |
40% ~ 80% |
温度控制 |
PID 控制 |
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控制对象 |
硅胶晶圆片 |
大小与重量 |
参考以下事项 |
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项目 |
Cold-Chuck Plate |
Temp. Controller |
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形式 |
起动电源 |
DC 24V |
起动电源 |
220VAC |
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消耗的电量 |
600W |
消耗的电量 |
100W |
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重量 |
1790g |
重量 |
10kg |
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大小 |
Φ220×21mm |
大小 |
440×390×295(mm) |
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冷却方式 |
T.E. Module |
控制方法 |
PID 控制 |
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冷却能力 |
400W |
控制对象 |
硅胶晶圆片 |
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加热方式 |
T.E. Module |
控制范围 |
-20℃ ~ 85℃ |
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加热能力 |
600W |
控制精度 |
±0.1℃ |
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绝缘电阻 |
1×10-9Ω |
Uniformity |
±1.0℃ |
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