WUXI BOHYUN TE TECH
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Korean
Ceramic CTE 测量 Cold & Hot plate
Ceramic Board 热膨胀系数 测量
对象 : Ceramic Board (Wafer type)
[产品详细信息]
品名
Ceramic CTE 测量 cold & hot plate
一般事
项
设
置
场
所
室
内
用
起
动电
源
220VAC
周
围
温
度
常
温
消耗的
电
量
8KW
周
围
湿
度
40% ~ 80%
温
度控制
PID
控制
控制
对
象
硅胶晶圆片
大小
与
重量
参
考以下事
项
项
目
Cold-Chuck Plate
Temp. Controller
形式
起动电源
DC 24V
起
动电
源
220VAC
消耗的电量
2.5KW
消耗的
电
量
5.5KW
重量
15kg
重量
100kg
大小
Φ420×35mm
大小
[W]600 x [D]650 x [H]1500 mm
冷却方式
T.E. Module
控制方法
PID
控制
冷却能力
600W
控制
对
象
Ceramic Board
加
热
方式
T.E. Module
控制范
围
-10℃ ~ 100℃
加
热
能力
1800W
控制精度
±0.1℃
平整度
± 0.05mm (max)
Uniformity
±2.0℃