WUXI BOHYUN TE TECH

Ceramic CTE측정용 Cold & Hot plate

Ceramic Board 열팽창계수 측정
대상 : Ceramic Board (Wafer type)

[제품 상제정보]

품명	Ceramic CTE측정용 cold & hot plate
일반사항	설치장소	실 내 용	작동전원	220VAC
	주위온도	상온	소비전력	8KW
	주위습도	40% ~ 80%	온도제어	PID 제어
	제어대상	실리콘 웨이퍼	크기 및 중량	하기사항 참조
품목	Cold-Chuck Plate		Temp. Controller
형식	작동전원	DC 24V	작동전원		220VAC
	소비전력	2.5KW	소비전력		5.5KW
	중량	15kg	중량		100kg
	크기	Φ420×35mm	크기		[W]600 x [D]650 x [H]1500 mm
	냉각방식	T.E. Module	제어 기법		PID 제어
	냉각능력	600W	제어대상		Ceramic Board
	히터방식	T.E. Module	제어범위		-10℃ ~ 100℃
	히터능력	1800W	제어정도		±0.1℃
	평탄도	± 0.05mm (max)	Uniformity		±2.0℃