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12-inch Cold-Chuck
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반도체 웨이퍼 다이싱 공정에서 픽업시 불량발생
→ -10℃이상 냉각하여 점착시트의 점착력 줄임으로 수율 개선
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| [제품 상제정보] |
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품명 |
12-inch Cold-Chuck |
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일반 |
설치장소 |
실 내 용 |
작동전원 |
220VAC |
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사항 |
주위온도 |
상온 |
소비전력 |
580W |
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주위습도 |
40% ~ 80% |
온도제어 |
PID 제어 |
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제어대상 |
실리콘 웨이퍼 |
크기 및 중량 |
하기사항 참조 |
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품목 |
Cold-Chuck Plate |
Temp. Controller |
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형식 |
작동전원 |
DC 48V |
작동전원 |
220VAC |
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소비전력 |
480W |
소비전력 |
100W |
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중량 |
3910g |
중량 |
10kg |
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크기 |
Φ318×17.7mm |
크기 |
440×390×295(mm) |
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냉각방식 |
T.E. Module |
제어 기법 |
PID 제어 |
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냉각능력 |
266W |
제어대상 |
실리콘 웨이퍼 |
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히터방식 |
T.E. Module |
제어범위 |
-20℃ ~ 85℃ |
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히터능력 |
480W |
제어정도 |
±0.1℃ |
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절연 저항 |
1×10-9Ω |
Uniformity |
±1.0℃ |
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