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8-inch Cold-Chuck
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Cold-Chuck Plate & Temp. Controller
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| [제품 상제정보] |
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품명 |
8-inch Cold-Chuck |
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일반
사항 |
설치장소 |
실 내 용 |
작동전원 |
220VAC |
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주위온도 |
상온 |
소비전력 |
700W |
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주위습도 |
40% ~ 80% |
온도제어 |
PID 제어 |
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제어대상 |
실리콘 웨이퍼 |
크기 및 중량 |
하기사항 참조 |
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품목 |
Cold-Chuck Plate |
Temp. Controller |
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형식 |
작동전원 |
DC 24V |
작동전원 |
220VAC |
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소비전력 |
600W |
소비전력 |
100W |
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중량 |
1790g |
중량 |
10kg |
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크기 |
Φ220×21mm |
크기 |
440×390×295(mm) |
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냉각방식 |
T.E. Module |
제어 기법 |
PID 제어 |
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냉각능력 |
400W |
제어대상 |
실리콘 웨이퍼 |
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히터방식 |
T.E. Module |
제어범위 |
-20℃ ~ 85℃ |
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히터능력 |
600W |
제어정도 |
±0.1℃ |
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절연 저항 |
1×10-9Ω |
Uniformity |
±1.0℃ |
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